电阻器敏感元件的发展
电阻器敏感元件经过几十年的发展旅程,但从总体来看,仍不如一般半导体器件那样成熟。因为敏感元件所用的材料主要是各种化合物半导体,而化合物半导体的材料技术比元素半导体困难得多,从而防碍着敏感元件的普及和发展。对于敏感元件的展望,可归纳出以下几点:
(1)当前国际上敏感元件生产和研制主要以物理敏感元件为主,其它电阻器敏感元件也将有相应的发展。一般认为物理敏主要是电子过程,机制比较简单,易于数字化,易于检测,应用普遍,是“八十年代最有时代性的大量生产的商品”。化学敏、生物敏相物理化学敏是新一代的敏感元件,主要是离子过程,其机制比较复杂。新一代敏感元件大都为 模拟式,难于准确检测绝对量,研究和开发的难度较大。新一代电阻器敏感元件在今后的生物、环境保护和食品加工等领域发展前景极其广阔,有“九十年代的敏感元件”之称。
(2)电阻器敏感元件的集成化和多功能化将;有较大进展。目前生产的敏感元件大都是分立伊Jo随赣微电子学的发展,在分立的敏感元件继续发展的同时,集成化是—一个重要发展趋势。专家预测,随着集成技术发展,容功能三维多层混合集成的仿生敏感元件可望在九十年代获得成功。
(3)电阻器敏感技术和敏感元俏:的生产技术将有很大发展,新型敏感元件不断发展,社会效益将不断提高。当前敏感元件市场国际竞争剧烈,各种新技术应运而生,薄型化、微粒化和集成化在发展,具有感度高、响应快、体积小、重量轻、能耗低、价格低的产品颇受育睐。尤其是一些性能优异的光敏、气敏、湿敏和热敏等敏感元件有广泛的应用前景。
(4)电阻器敏感元件的应用领域仍以工业生产过程和设备控制为主,信息处理、科技计测和防火、防爆居次。随着生产的发展和新技术的开发,敏感元件将在以减轻繁重体力劳动、避免有害作业直接操作、提高劳动生产率、提高质量、降低成本为中心的工业生产过程和设备控制中起更大作用。